В Подольске разработали новую технологию и оборудование для производства особо чистого гексафторида вольфрама — важного химического соединения, которое используется в микроэлектронике. В частности, он нужен при производстве полупроводников.
Разработку провели специалисты Научно-исследовательского института НПО «Луч» (входит в структуру «Росатома»). Цель проекта — наладить собственное производство и снизить зависимость от зарубежных поставок.
Началось проектирование первого в стране промышленного участка, где будут производить это вещество. Новый участок будет оснащён всем необходимым, в том числе системами экологического контроля. В создании технологии и оборудования участвовали учёные и инженеры из Нижегородского и Томского госуниверситетов, Института химии высокочистых веществ РАН, а также специалисты компании «Ферри Ватт». Совместно они разработали и собрали уникальные установки для очистки гексафторида, а также подготовили методики для точного измерения его состава.
Эта работа важна для развития отечественной микроэлектроники и всей высокотехнологичной промышленности.
